瀋陽スターライト高度なセラミックス、新生産施設で半導体エコシステムの拡大に着手

1995年にFine テクニカル 陶芸 GmbHとの画期的な中独合弁事業を通じて設立された、中国の先駆的先進シリコンカーバイド窯用家具メーカーである瀋陽星光先進陶磁器有限公司は本日、半導体サプライチェーン統合への戦略的飛躍を発表しました。同社は2025年6月10日に半導体コア部品製造施設とCVD（化学蒸着）工場の建設に着工し、30年にわたる技術革新の道のりにおける変革期を迎えました。

戦略的拡大の概要

この 3 億 5,000 万ドルの投資プロジェクトは、瀋陽スターライトの半導体製造における垂直統合への取り組みを強化します。

1. コアコンポーネント施設: ウェーハハンドリング、熱管理、プロセスチャンバー用の超高純度シリコンカーバイド部品の大量生産に特化しています。

2. CVD ワークショップ: プラズマ耐性および耐腐食層を含む、半導体装置向けの高度なシリコンカーバイドコーティングを専門としています。

3. 統合R&Dセンター：最先端の材料分析ラボとプロセスシミュレーションシステムを備えています。

技術的能力

新しい施設は、瀋陽スターライトの伝統的な強みを活用します。

1. 材料に関する専門知識: RSiC（再結晶シリコンカーバイド）およびNSiC（窒化物結合シリコンカーバイド）の30年にわたる製造経験

2. 品質の伝統：中国初のISO 9001認証を取得したシリコンカーバイド窯メーカー（2002年）

3. 精密エンジニアリング：半導体グレードの部品で実証された0.01mm未満の加工精度

4. 世界的な認知度：20か国以上で35%の輸出シェア（2024年通関データより）

施設仕様

1. 半導体部品工場

2. クリーンルーム規格：ISOクラス5～7環境

3. 生産能力: 年間50,000個以上の精密部品

主な製品:

1. 12インチウェーハキャリア（外径450mm）

2. CVD/CVIプロセスチューブ

3. エッチングシステム用エッジリング部品

CVDコーティングワークショップ

堆積技術：PECVD、LPCVD、ALD機能

1. コーティング性能:

2. 表面粗さ≤0.05μm

3. 99.999%純度のコーティング

4. 10,000回以上の耐久性

業界への影響

この拡張により、重要なサプライ チェーンのニーズに対応できます。

1. ローカライゼーション：半導体部品の輸入依存度を40%削減

2. 技術的ブレークスルー：独自の高エントロピー炭化ケイ素コーティングの開発

3. 持続可能性：閉ループ材料リサイクルシステムの導入

研究開発コラボレーション

このプロジェクトは、以下の既存のパートナーシップに基づいて構築されています。

1. 清華大学：AI駆動型プロセス最適化システムの共同開発

2. ノースイースタン大学：大型部品の高度な熱応力モデリング

3. CAS研究所：次世代セラミックマトリックス複合材料

プロジェクトのタイムライン

1. 2025年6月：基礎完成

2. 2025年第4四半期: 設備の設置

3. 2026年第2四半期: パイロット生産

4. 2027年：フル稼働

リーダーシップの視点

「今回の拡張は、窯専門企業から半導体ソリューションアーキテクトへの当社の進化を表しています」と、会長の劉長春氏は述べました。「CVD能力と精密製造を統合することで、3nmノードのファブに完全なサブシステムソリューションを提供できるようになります。」

市場ポジショニング

この取り組みは、中国の半導体自給自足の目標と一致しており、以下を目標としています。

1. 2028年までに国内シリコンカーバイド部品の市場シェア25%

2. 高度なシリコンカーバイドコーティングのリードタイムを50%削減

3. 輸入品に比べて30%のコスト優位性

持続可能性への取り組み

1. エネルギー効率：廃熱回収により消費電力を40%削減

2. 排出制御：CVDプロセスにおける99.9%の粒子ろ過

3. 材料利用率: AI最適化加工による歩留まり率95%以上