瀋陽スターライト・アドバンスト・セラミックス、12インチウエハー処理向け高精度外径451mmライナーチューブで半導体製造におけるマイルストーンを達成

瀋陽スターライトアドバンストセラミックス株式会社は、30年以上の専門知識を持つシリコンカーバイド製造のパイオニアであり、最近、12インチ半導体ウェハ製造プロセス用の特殊451mm外径ライナーチューブの供給に成功し、大きな進歩を遂げました。この成果は、世界の半導体産業における重要なセラミック部品の進歩における同社のリーダーシップを強調するものです。高温ウェハ処理アプリケーション向けに特別に設計された新開発のライナーチューブは、高度な半導体製造装置の厳しい要件を満たすように設計された、最適化されたフランジ外径451mmを特徴としています。これらのライナーチューブは、非常に高い熱安定性（動作範囲：室温～1,450℃）を備えた超高純度シリコンカーバイド（≥99.999%）を使用しており、ライナーチューブ コンポーネントは最小限の熱膨張率（係数4.0×10⁻⁶/K）と優れた腐食性プロセスガス耐性を実現し、酸化、拡散、化学蒸着（CVD）プロセスにおいて安定した性能を実現します。ライナーチューブの精密エンジニアリングにより、寸法公差±0.05mm以内、表面粗さRa 0.1μm以下が保証されており、これはウェーハの完全性を維持し、クリーンルーム環境におけるパーティクル汚染リスクを低減するために不可欠です。

その ライナーチューブ開発プロセスには、大手半導体メーカーとの18ヶ月にわたる厳格な研究開発協力が含まれ、高度な有限要素解析（有限要素法）を駆使して、内径300mm全体にわたるガスフローダイナミクスと熱均一性を最適化しました。500回を超える熱サイクル試験により、ライナーチューブ急激な温度変化にも耐える耐久性を備え、独自の焼結技術によりライナーチューブ 極度の温度下でも構造の完全性を保ちます。生産はISOクラス5のクリーンルームで行われ、各ユニットは徹底的な検査を受けています。 ライナーチューブヘリウムリークテスト、残留ガス分析（RGA）、レーザースキャナーと座標測定機（CMM）を使用した計測検証など、品質チェックに使用できます。先端ロジックおよびメモリチップ製造の早期導入企業からは、従来の石英ライナーと比較して、炉のダウンタイムが35%削減され、ウェーハ歩留まりが20%向上したという報告があります。これは、この材料の化学的不活性性とメンテナンス要件の低減によるものです。

これ ライナーチューブこのイノベーションは、特にメーカーが5nmノード未満に移行する中で、半導体業界におけるウェーハの大口径化とプロセス安定性の向上に対する高まる需要に対応します。外径451mmの設計は、次世代の垂直炉とのシームレスな統合を可能にし、材料の極めて低い金属不純物レベル（0.1ppb未満）は、繊細なプロセスにおけるドーパント汚染を防ぎます。瀋陽スターライトは、既存の用途に加え、スマートデバイスの開発にも積極的に取り組んでいます。ライナーチューブインダストリー 4.0 製造エコシステムと互換性のある、リアルタイム温度監視および適応型熱管理システム用の組み込みセンサーを備えたプロトタイプ。

瀋陽スターライトは、30 年にわたる歴史と 2,000 社を超える成功した顧客パートナーシップを誇り、材料科学の卓越性と精密エンジニアリングを組み合わせ、半導体業界の最も複雑な課題を解決しながら、高性能セラミックスの革新を推進し続けています。