瀋陽スターライト・アドバンスト・セラミックス、半導体石英ボート製造で画期的な成果を達成

瀋陽スターライト・アドバンスト・セラミックス株式会社は、30年以上の業界経験を有するシリコンカーバイド製品のリーディングメーカーです。このたび、半導体ウェーハ処理向け高性能石英ボートシリーズの開発・納入に成功しました。この画期的な成果は、先端半導体製造における厳しい要求に応える同社の能力を改めて証明するものです。

クォーツボート技術の革新

瀋陽スターライトは、長年にわたる厳格な研究開発と試験を経て、半導体製造におけるウェハ熱処理向けに特別に設計された石英ボートシリーズを完成させました。主な特長は以下のとおりです。

超高純度シリコンカーバイド材料で、高温プロセス中の汚染を最小限に抑えます。

優れた熱安定性、1,200°C までの急速な熱サイクルに耐えることができます。

精密に設計された構造的完全性により、処理中のウェハの反りや損傷を防止します。

これらのシリコンカーバイド石英ボートは、材​​料の純度と熱性能が最も重要となるウェハーアニーリング、拡散、酸化プロセスに不可欠です。

半導体業界の需要に応える

半導体メーカーは、繊細なシリコンウェーハを取り扱う際に、一貫性があり汚染のないソリューションを求めています。瀋陽スターライトのシリコンカーバイド石英ボートは、以下の特長を備え、これらのニーズに応えます。

• 堆積およびエッチングで使用される腐食性ガスに対する優れた耐薬品性。

• 均一な熱分散を実現する最適化された設計により、ウェハのストレスを軽減します。

• 長寿命で半導体工場の総所有コストを削減します。

「当社のシリコンカーバイドクォーツボートシリーズは、長年の材料科学の改良の成果です」と、同社の広報担当者は述べています。「当社は、高純度クォーツとシリコンカーバイドを精密製造と組み合わせることで、半導体製造の厳格な基準を満たす製品を提供しています。」

研究開発と品質保証

瀋陽スターライトの成功の要因は次のとおりです。

一流の学術機関と協力する専任の研究開発チーム。

耐熱衝撃性や粒子放出分析などの高度なテストプロトコル。

ISO 9001 認証生産により、バッチ間の一貫性が保証されます。

同社の石英ボートは、半導体装置メーカーと提携して広範囲にわたる認定テストを受けており、実際のアプリケーションにおけるシリコンカーバイド製品の信頼性が確認されています。

ウェーハ製造における応用

クォーツボートシリーズは現在、以下の用途に採用されています。

• フロントエンドのウェーハ処理（例：酸化、ドーピング）。

• 高度なパッケージングのためのバックエンドアニーリング。

• 高温安定性が極めて重要な太陽光発電セルの製造。

今後の展開

この成功を基に、瀋陽スターライトは半導体セラミックスのポートフォリオを拡大しており、現在以下のプロジェクトが進行中です。

• 耐久性を高めるシリコンカーバイドコーティングされたクォーツ部品。

• 次世代のウェーハサイズに合わせてカスタマイズされたボート設計。

• 極端紫外線 リソグラフィーに適合する低粒子放出材料。

半導体の卓越性へのコミットメント

「半導体製造は急速に進化しており、当社は顧客の成功を可能にする最先端のセラミックソリューションを提供することに注力しています」と広報担当者は付け加えた。