瀋陽エキスパートワークステーション建設、高品質開発段階に突入

——瀋陽スターライト先進セラミックス株式会社の事例

I. 政策主導型イノベーションプラットフォームの開発
遼寧省の全面的振興と突破に向けた3カ年行動計画（2023～2025年）に沿って、瀋陽市科学技術協会は2023年12月に「瀋陽における学者（専門家）ワークステーションと社会サービスステーションの建設を促進するための実施計画」（SYKX第45号、2023年）を正式に発行しました。この計画では、第14次5カ年計画期間中に業界をリードする専門家ワークステーション50か所を設立し、高度な機器製造、炭化ケイ素などの新素材、半導体などの戦略的新興産業を優先的にサポートすることが概説されています。第三者評価データによると、2024年10月までに、市は8つの院士ワークステーションと32の専門家ワークステーションを設立し、217人のハイレベルの専門家を誘致し、89の産学研究協力プロジェクトを促進した。

このような政策的背景の下、先端セラミック炭化ケイ素材料のリーディングカンパニーである瀋陽スターライト・アドバンスト・セラミックス株式会社は、2024年度エキスパート・ワークステーション・プログラムに積極的に応募しました。応募者は、以下の項目を含む6ヶ月間の厳格な評価プロセスを経て、

• 資格審査：研究開発集約度（過去3年間の平均5.2％）および特許ポートフォリオ（認可された発明特許23件）の検証

• 専門家による評価：清華大学の潘偉教授率いる7名からなる専門家パネルによる技術的実現可能性の評価

• 党委員会の審議：SYAST指導部による3回の特別会議

• 公開情報: 市町村ポータルで15営業日、12件の有効なフィードバックに対応
  同社は2024年11月にパイロットユニットとして正式に認定された。

II. 技術革新への焦点
このワークステーションは、半導体製造の中核分野であるウェーハ製造用の特殊セラミックスの開発に注力しています。統計によると、半導体向けシリコンカーバイドセラミックスの世界市場は、2023年の18億7000万個から2030年には54億3000万個に拡大し、年平均成長率（年平均成長率）16.4%で成長すると予測されています。しかしながら、300mmシリコンカーバイドウェーハボートの国内輸入依存度は92%と依然として非常に高く、サプライチェーンに重大なリスクをもたらしています。

技術ロードマップには以下が含まれます。

• 大型ボート製造：直径450mm、肉厚3±0.1mmの部品をCIP成形する技術のブレークスルー

• 高純度材料開発：炭化ケイ素粉末中の金属不純物総量を50ppm未満に達成

• 精密加工：5軸CNCシステム専用のパラメータデータベースを構築

• 品質保証：セミ F47に準拠した本格的な自動検査プラットフォームを構築

3. 協働イノベーションエコシステム
このワークステーションには、中国科学院上海陶磁器研究所の李建国教授が率いる12名の専門家チームが参加しており、学際的な分野を横断しています。革新的なメカニズムには以下の特徴があります。

1. オープンイノベーションチャレンジ：研究助成金3件（各200万円）

2. 人材育成：NEUとの共同エリートエンジニアプログラムで年間30人のプロフェッショナルを育成

3. 技術移転：研究開発サイクルを40％短縮することを目指し、ラボ・パイロット・量産の3段階加速システムを導入

IV. 産業発展の見通し
フル稼働時には、シリコンカーバイドプロジェクトは半導体グレードのシリコンカーバイドウェーハボートを年間5,000セット生産し、12億円相当の輸入代替を実現する見込みです。技術仕様はクアーズテックや京セラといった国際的リーダー企業をベンチマークとし、歩留まり率を78%から92%以上に向上させることを目指します。この取り組みは、高純度粉末処理、精密金型製造、特殊機器メンテナンスを含む地域シリコンカーバイド産業クラスターの形成を促進し、300人以上の雇用機会を創出します。