反応接合シリコンカーバイドウェーハボート紹介：

近年、半導体や太陽光発電産業が急速に発展し、産業規模が急速に拡大し、製造設備は精密化、複雑化の方向に進化し続け、高精度セラミックスの主要部品に対する技術要求と現地化の要求が高まっており、これはシリコンカーバイド製造企業にとって新たな発展のチャンスと転換点となっている。

シリコンカーバイド ウェーハ ボートは、特に半導体製造、冶金、先進セラミック焼結などの高温工業プロセス向けの優れたソリューションとして登場しました。これらのコンポーネントは、シリコンカーバイドの優れた特性と革新的なデザインを組み合わせ、従来のセラミックやグラファイトの代替品に比べて明確な利点を提供します。

1. 優れた熱安定性と機械的安定性

シック ウェーハボートは優れた耐熱衝撃性を示し、1,380°C までの急激な温度変化にさらされても構造の完全性を維持します。この安定性は、シリコンカーバイドの低い熱膨張係数 (4.0×10⁻⁶/°C) と、内部応力を最小限に抑える反応結合プロセスの組み合わせによって実現されています。従来のグラファイトボートは酸化環境で 500°C 以上で劣化しますが、シック ウェーハボートのコンポーネントは優れた耐酸化性を示し、高温サイクルを繰り返しても長寿命を保証します。

2. プロセス効率を最適化する設計

3 本の支柱構成により、拡散プロセスや 心血管疾患 (化学蒸着) などの重要なアプリケーションにおける熱の均一性が向上します。対称的な支柱により熱が均等に分散され、ボートの全長にわたって温度勾配が 5°C 未満に抑えられます。この設計により、半導体処理中のウェーハの反りも最小限に抑えられ、平底ボートに比べて歩留まりが最大 15% 向上します。オープン構造によりガス フロー ダイナミクスが向上し、雰囲気制御炉におけるプロセスの一貫性が向上します。

3. 優れた化学的不活性性

シリコンカーバイド ウェーハ ボートは非反応性であるため、腐食性物質の取り扱いに最適です。反応結合プロセスによって 0.5% 未満の多孔度が達成されたこれらのボートは、酸性/アルカリ性フラックスおよび溶融金属に対して優れた耐性を示します。太陽電池の製造では、この特性により金属汚染 (アルミニウムや銀など) が防止され、不純物レベルが 1 ppb 未満のウェーハ純度が維持されます。

当社は現在、大口径チューブ、薄肉チューブ、片持ちプロペラ、反応結合シリコンカーバイドウェーハボートなどを生産することができます。

反応結合シリコンカーバイドウェーハボートの利点：

1.当社のSICウェーハボートは、高温、摩耗、クリープに対する耐性があります。

2.私たちの シックウェーハボートは耐衝撃性が高く、耐用年数が長いです。

3.当社のSICウェーハボートは高密度であり、顧客のニーズに応じてカスタマイズできます。

品質保証と品質管理：

当社製品に対するお客様のご要望にお応えするため、原材料が工場に到着した瞬間からすべての生産工程が厳格に管理されています。すべての製品は工場を出る前に厳重に検査されます。当社の管理システムに基づき、製品品質の検査と管理は業界および企業の基準に準拠しています。