導入 の シリコンカーバイドウェーハボートキャリア:

半導体製造におけるシリコンカーバイドボートキャリアの利点

急速に進化する半導体および太陽光発電業界では、材料の革新がプロセス効率と製品性能の向上に極めて重要な役割を果たしています。重要なコンポーネントの中でも、ウェーハ ボートまたはカセットとも呼ばれるシリコン カーバイド ボート キャリアは、従来の石英またはグラファイト キャリアの優れた代替品として登場しました。優れた熱特性、機械特性、化学特性を備えたシリコン カーバイド ボート キャリアは、高温の半導体製造プロセスで比類のない信頼性と長寿命を実現します。以下では、シリコン カーバイド ボート キャリアの主な利点と、現代の製造業に与える変革的な影響について説明します。

シリコンカーバイドウェーハボートホルダーの主な特徴：

1. 優れた熱安定性と伝導性

シリコンカーバイドの超高熱伝導率 (120～270 W/m·K) と低熱膨張係数により、急激な温度変動下でも熱応力が最小限に抑えられます。1,200°C を超える温度で反りや割れが生じやすい石英キャリアとは異なり、シリコンカーバイド ボートキャリアは 1,600°C を超える温度でも構造的完全性を維持します。このため、正確な温度制御が不可欠な化学蒸着 (心血管疾患)、エピタキシャル成長、拡散などの重要なプロセスに最適です。この素材の耐熱衝撃性により、キャリアの故障によるダウンタイムも短縮され、生産スループットが向上します。

2. 機械的堅牢性の強化

シリコンカーバイド の固有の硬度 (9.2～9.5 モース) と曲げ強度 (350～600 MPa) は、石英やグラファイトをはるかに上回っています。この機械的耐久性により、ウェハー処理中のパーティクル生成と破損が減り、汚染リスクが最小限に抑えられます。半導体メーカーは、キャリア寿命が石英代替品より最大 10 倍も長くなるというメリットを享受し、交換コストの削減と投資収益率 (投資収益率) の向上を実現しています。

シリコンカーバイド ウェーハ ボート アクセサリは、構造が安定しており、材料の熱安定性が良好で、高温で使用しても変形しません。 シリコンカーバイド ウェーハ ボート部品は長寿命です。 シリコンカーバイド ウェーハ ボート キャリアは、高出力太陽電池の問題を効果的に解決します。 負荷容量下での耐荷重コンポーネントの損失の問題。

シリコンカーバイドウェーハボートホルダーの適用範囲：

シリコンカーバイド ウェーハ ボート アクセサリは、太陽光発電グレードのセル拡散プロセス装置の主要な荷重支持コンポーネントに適しています。

私たちについて：

中国の重要な工業と先進的な設備製造拠点である遼寧省瀋陽市に位置する瀋陽星光先進セラミックス株式会社は、世界クラスの設計、研究開発革新、安定した品質、巨大な生産能力を持つ世界トップクラスの新SiC原材料と製品の製造企業であり、製品は海外20以上の国と地域に輸出されています。長年にわたり、当社は誠実なビジネス哲学を堅持し、顧客に最高品質のサービスを提供しています。