瀋陽スターライト先進セラミックス：シリコンカーバイドから半導体の最先端への移行を先導してきた30年の伝統

瀋陽スターライト・アドバンスト・セラミックス株式会社は、30年にわたる専門知識を持つシリコンカーバイド製造のパイオニアであり、従来の窯炉家具製造から半導体グレードのソリューションへの戦略的移行を進めています。同社は、その深い技術力とグローバルなサプライチェーン能力を活用し、精密加工の新たな定義を確立しようとしています。炭化ケイ素次世代チップ製造用のコンポーネント。

窯からチップへ：戦略的進化

瀋陽スターライトは1995年に中国とドイツの合弁企業として設立され、当初は工業用窯の部品を専門とし、国家ハイテク企業として認められ、20カ国以上に製品を輸出していました。半導体炭化ケイ素市場規模は2028年までに100億ドルを超えると予測されており、同社は2019年に高純度の材料をターゲットとした先端材料部門を設立し、多角化を開始した。炭化ケイ素半導体装置の構造部品。

「当社の転換は、中国の半導体自立への推進と一致しています」とCEOの邢氏は語った。炭化ケイ素熱安定性と純度により、エッチング、堆積、ウェーハ処理システムに不可欠です。」

技術革新が移行を推進

1. 超高純度材料の革新

同社は現在、4N+（99.99％）の純度を生産している。炭化ケイ素独自の精製プロセスを経て粉末を精製し、汚染に敏感な半導体プロセスに重大な金属不純物を除去します。

多段階焼結（反応結合、再結晶化、およびホットプレス）により密度 シーッ3.1 g/cm³ が保証され、真空適合性に関する ASML および 電話 仕様を満たします。

2. 精密製造能力

等方加圧や 3D 印刷などの高度な成形技術により、ウェーハ処理ロボットや CVD チャンバーライナーなどの複雑な形状を ±0.01 んん の許容誤差で実現できます。

独自のレーザー支援加工により、従来の研削に比べて表面下の損傷が 60% 削減され、リソグラフィー段階での表面粗さが 1 ナノメートル 未満に抑えられるという重要な成果が得られます。

3. 業界間のシナジー

同社は、窯部品の研究開発に何十年も携わった経験を活かし、耐熱衝撃設計（もともと1,600℃でのセラミック焼結用）を半導体急速熱処理（RTP）システムに適合させ、石英製の代替品よりも30％長い耐用年数を実現しました。

半導体製品ポートフォリオ

ウェーハキャリア：再結晶化炭化ケイ素高温拡散炉用トレイ。アルミナに比べてパーティクル発生を 50% 削減します。

真空チャック：低ガス放出炭化ケイ素極端紫外線 リソグラフィー システム用の埋め込み型冷却チャネルを備えた静電チャック。

プラズマ耐性部品：窒化物結合炭化ケイ素500 時間以上の腐食性プラズマテストで検証されたエッチングツール用のシールド。

協働型エコシステムの構築

1. 学術パートナーシップ：量子ドット強化型炭化ケイ素瀋陽大学と共同で、高真空環境でのウェハの付着を最小限に抑えるコーティングを開発しました。

2. 業界提携：2024年に遼寧省半導体材料コンソーシアムに加盟し、炭化ケイ素SMIC および ナウラ による処理標準。

3. グローバル認証: 2025 年第 2 四半期に セミ S2 準拠を取得し、ティア 1 ファウンドリ承認への道を開きました。

課題と今後のロードマップ

従来の窯製品は依然として収益の 65% を占めていますが、半導体部門では以下の取り組みを通じて年間 40% の成長を目指しています。

生産能力の拡大：8 インチ ウェーハ ツールの需要を満たすため、2026 年第 3 四半期までに静水圧プレス ラインを 2 倍に増強します。

人工知能 駆動型品質管理: CNC 加工中にリアルタイムで欠陥を検出するためのマシン ビジョンを実装します。

循環型経済: 特許取得済みの濾過システムにより、粉砕スラリーの 95% をリサイクルし、ESG 目標に沿っています。

「私たちの30年間の歩みは、中国の製造業の進化を反映しています」とCTOの張偉氏は述べた。「窯の棚からチップ工場まで、私たちは炭化ケイ素「次の章は、原子層ごとに進むことです。」