瀋陽スターライト・アドバンスト・セラミックス、半導体ウェーハ処理向け8インチシリコンカーバイド3ポストボートを納入

瀋陽スターライトアドバンストセラミックス株式会社は、30 年を超える業界経験を持つシリコンカーバイド製品の大手メーカーであり、最近、半導体ウェハ熱処理アプリケーション向けの特殊な 8 インチ シリコンカーバイド 3 ポスト ボートの開発と提供に成功し、重要なマイルストーンを達成しました。

ウェーハ処理技術のブレークスルー

新開発の8インチ炭化ケイ素3 ポスト ボートは、ウェハ処理技術における大きな進歩を表しており、特に以下の用途に設計されています。

• 200mm半導体ウェハの高温処理

• 重要な製造工程における均一な熱分布

• クリーンルーム環境における汚染リスクの低減

技術的優位性

これらの精密に設計されたボートの特徴は次のとおりです。

• 超高純度炭化ケイ素素材（純度99.99%）

• ウェーハとの接触を最小限に抑える最適化された3ポスト設計

• 優れた耐熱衝撃性（1,400℃までの急激な温度変化に耐えます）

• 腐食性プロセスガスに対する優れた化学的不活性

業界の需要に応える

"私たちの8インチ炭化ケイ素3ポストボートは、半導体業界における信頼性が高く、高性能なウェーハキャリアに対する高まるニーズに対応します、と最高技術責任者のリー博士は述べています。従来の石英キャリアに比べて、3ポストボートには長い耐用年数や優れた熱安定性など、大きな利点があります。

厳格な開発プロセス

製品開発には以下が含まれます。

• 18ヶ月間の集中的な研究開発

• 大手半導体メーカーとの連携

• 200回以上の熱サイクルテスト

• 厳格な粒子汚染制御対策

品質保証

各ユニットは以下の手順を踏みます。

• 寸法精度検証（±0.02mm公差）

• 表面粗さ試験（ラ < 0.2μm）

• 包括的な目視検査

• クラス100クリーンルームでの最終洗浄と梱包

アプリケーション

ボートは現在以下の用途で使用されています:

• 拡散プロセス

• アニーリング処理

• 酸化プロセス

• CVDアプリケーション

今後の展開

この成功を基に、瀋陽スターライトは現在、以下の開発を行っています。

• 次世代ウエハサイズに対応した12インチバージョン

• 特定のプロセス要件に合わせたカスタマイズされた設計

• 特殊用途向けの高度なコーティング

会社のコミットメント

30年にわたるセラミックの専門知識を持つ企業として、私たちは半導体材料技術の限界を押し広げることに引き続き尽力しています、とLi博士は付け加えました。「今回の製品の発売は、業界の最も厳しい要件を満たすソリューションを開発する当社の能力を実証しています。」